产品型号:DFS4000
产品规格:适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)。
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产品概述:
DFS4000是采用的微机电系统流量传感器技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)。
DFS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。
DFS4008流量传感器,管道内径为8mm,测量范围到50SLPM;可用于设备、洁净气体检测,如:空气采样机,气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计;
- 支持多种连接方式,易于安装与使用;
- 传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量;
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高;
- 输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压;
- 零点稳定度高;
- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性;
- 低功耗、低压损;
- 响应速度快;
产品技术参数:
性能参数 |
DFS4003 |
DFS4008 |
单位 |
|
通 径 |
3 |
8 |
mm |
|
流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
|
量程比 |
100:1 |
|
||
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
||
重复性 |
0.75 |
% |
||
零点输出飘移 |
±30 |
mV |
||
输出飘移 |
0.12 |
%/oC |
||
响应时间 |
100 |
ms |
||
工作电源 |
8~18Vdc,100mA |
|
||
输出方式 |
线性,RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc |
|
||
流量压损 |
100 |
600 |
pa |
|
工作压力 |
0.5 |
MPa |
||
工作温度 |
-10 ~ +55 |
oC |
||
存储温度 |
-20 ~ +65 |
oC |
||
工作湿度 |
<95%RH(无结冰、无凝露) |
|
||
机械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 |
|
||
校准方式 |
空气(或其他气体),20oC,101.325kPa |
|
||
重量 |
57(带R1/4,BSPT1/4接口) 71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头) |
g |
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